?金屬對金屬密封，在真空到高壓范圍內(nèi)提供無泄漏服務(wù) ?內(nèi)部容積小，可完全吹掃流道 ?全包裹閥座設(shè)計(jì)，具有優(yōu)越的抗膨脹和防污染能力 ?鎳鈷合金膜片，具有更高的耐久性和抗腐蝕性 ?標(biāo)準(zhǔn)的粗糙為Ra0.25μm（BA級(jí)），或者電解拋光Ra0.13μm（EP級(jí)）可選 ?氦氣測試泄漏率＜1×10-9 std cm3/s ?氣動(dòng)執(zhí)行器可供選擇 ?氣動(dòng)閥壽命可達(dá)300萬次