半導(dǎo)體工廠在制程過程會產(chǎn)生廢氣，超高純電子特氣系統(tǒng)的使用也會有特氣殘留，這些廢氣/尾氣如果直接排放到空氣中會造成污染，破壞環(huán)境，深圳沃飛科技設(shè)計并提供特氣尾氣處理設(shè)備從而成功解決這個問題。

吸附式尾氣處理設(shè)備的工作原理：

制程過程產(chǎn)生的廢氣在風(fēng)機(jī)壓力下由入氣口管道進(jìn)入主吸附桶，廢氣中需要處理的氣體組分在主吸附桶中被吸附劑吸附處理，吸附后的廢氣經(jīng)變色球檢驗(yàn)后從出氣口排出，變色球的指示劑會隨著氫鍵之濃度增加度的不同產(chǎn)生顏色的變化，通過的氣體是中性氣體，不變色，由出氣口排出（PFCs不能用變色球辨別，因?yàn)樗旧硎侵行詺怏w）。

吸附式尾氣處理設(shè)備的性能特點(diǎn)：

1. 以吸附桶完全處理設(shè)備尾氣;

2. 沒有明火、無塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源;

3. 節(jié)省能源、沒有高耗能的需求;

4. 不需要耗用水資源，沒有廢水處理問題;

5. 確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害；

6. 妥善處理廢料，不影響地球環(huán)境。

吸附式尾氣處理設(shè)備吸附材處理效率：

特氣尾氣處理設(shè)備的介紹就是上面這些了，特氣是具有易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性的特種氣體，如果未經(jīng)處理直接排放，是不被允許的，會對環(huán)境造成很大的污染。保護(hù)環(huán)境，從廢氣處理做起，從沃飛做起，從你我做起。