氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程行業(yè)雖然是一個小眾行業(yè)，但它在現(xiàn)代工業(yè)中也是不可或缺的一部分，其工程覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽能電池、生物醫(yī)藥、食品安全、實驗科研等多個高新技術(shù)領(lǐng)域。其中特氣系統(tǒng)是一個非常重要的組成部分，因為篇幅有限，今天小編就先帶大家了解一下特氣、特氣柜和特氣系統(tǒng)吧！

1.什么是特氣？

特氣，又名特種氣體，是一種基礎(chǔ)化工原料，大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕性、純度特別高（超過99.999%）的氣體，用來滿足特定需求如芯片制程等。至于如何界定屬不屬于特氣范疇，對于我們行業(yè)內(nèi)來說，主要看的是純度。

2.特氣的分類：

特種氣體(Specialtygases)門類繁多，通?？蓞^(qū)分為電子氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，醫(yī)用氣，焊接氣，殺菌氣等。

3.關(guān)于特氣的純度，5N/6N是什么意思？

5N：99.999% ，氣體純度達(dá)到5個nine；

6N：99.9999% ，氣體純度達(dá)到6個nine。

4.特氣的使用危險性大不大？

廣泛上來說危險性很大，因為特種氣體大多是危險性氣體，如高純氯氣CL2擁有劇毒性，人體吸入過量高純氯氣會引起呼吸道損傷，嚴(yán)重時會引起急性肺水腫，搶救不當(dāng)可能會造成窒息死亡。但是只要你的技術(shù)過硬，經(jīng)驗足夠，按照規(guī)定的操作規(guī)范進(jìn)行安全操作一般問題不大，這也是為什么特氣系統(tǒng)工程的安裝公司需要資質(zhì)的原因。

5.什么是GC特氣柜？

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險特種氣體供應(yīng)而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)備，主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定輸送。

6.特氣柜的種類

特氣柜按類別分全自動、半自動和手動操作。

其中全自動GC特氣柜按功能設(shè)計可分為 單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

（1） 單鋼的設(shè)計通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒炇业?。工藝制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。 

（2） 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶（stand by）會自動轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)purge用的PN2統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應(yīng)源，會有較高的風(fēng)險值；萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的PN2中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge，此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。 

（3） 三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應(yīng)最優(yōu)先選擇。

7.全自動特氣柜的功能作用

全自動特氣柜（Gas Cabinet ）基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)時）。采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

8.特氣柜與普通氣瓶柜的區(qū)別？

因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時為保證半導(dǎo)體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全，應(yīng)具備多種功能，如柜內(nèi)氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等，提高使用安全系數(shù)，有效的保護(hù)生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次，半導(dǎo)體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認(rèn)證。

9.特氣柜的SEMI S2認(rèn)證重要嗎？

SEMI S2的對象是針對半導(dǎo)體制程設(shè)備的，是關(guān)于環(huán)境、健康、安全方面的標(biāo)準(zhǔn)，也即為EHS標(biāo)準(zhǔn)，因為半導(dǎo)體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、游離及非游離的輻射，如果處理不好，下游用戶在使用的時候就很容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難，因此對設(shè)備廠商的設(shè)備產(chǎn)品如電子特氣柜，擁有SEMI S2認(rèn)證就顯得極端重要。

10.那有SEMI S2認(rèn)證，功能齊全的特氣柜在哪可以買到呢？

深圳沃飛科技有限公司專業(yè)從事氣體應(yīng)用十多年，施工資質(zhì)齊全，經(jīng)驗豐富，不斷創(chuàng)新，擁有多項專利發(fā)明，其中自主研發(fā)設(shè)計全自動特氣柜，配置功能齊全，擁有SEMI S2認(rèn)證。

11.特氣系統(tǒng)是什么？

特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件都總稱則稱為特氣系統(tǒng)，是用于實現(xiàn)特氣安全使用的氣體系統(tǒng)工程。

12.特氣系統(tǒng)的組成部分：

特氣系統(tǒng)由供氣端（CF4是氣體鋼瓶供氣）、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監(jiān)測報警系統(tǒng)等組成。

13.特氣系統(tǒng)的功能特點：

特氣系統(tǒng)中的每臺設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報警;單臺設(shè)備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉(zhuǎn)，也可多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接?！　?/p>

14.特氣系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域？

電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。

15.特氣系統(tǒng)安裝的費用貴不貴？

這個主要看您的使用需求和工藝需求來實時設(shè)計報價的，深圳沃飛科技是提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷售于一體的。具體的價格歡迎咨詢我們。聯(lián)系電話：0755-27919860

以上，便是氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程行業(yè)中特氣系統(tǒng)的一些常見問題的解答啦當(dāng)然，如果你還有更多想要了解可以關(guān)注私信我們，我們也會竭力為您解答。感謝您的閱讀，咱們下次再見！