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電子特氣供應(yīng)系統(tǒng)如何設(shè)計與施工,沃飛科技為你解惑!

2022-12-10 17:44:40        0

  電子特種氣體是電子工業(yè)的“血液”,是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造中不可或缺的關(guān)鍵性材料,同時也是集成電路制造中的第二大原材料,其占比僅次于硅片,占晶圓制造成本的13%。其在半導(dǎo)體產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、也將面板、LED及光伏等材料的“糧食“和”源”。

  長期以來,沃飛科技一直助力中國半導(dǎo)體行業(yè)的穩(wěn)步發(fā)展,不僅提供先進可靠的電子特氣創(chuàng)新產(chǎn)品,針對客戶流體系統(tǒng)中存在的棘手難題,提供全面的解決方案。沃飛科技現(xiàn)場工程服務(wù)團隊多次在國內(nèi)電子特氣生產(chǎn)企業(yè)中開展過實地服務(wù),幫助他們規(guī)避了許多生產(chǎn)隱患,提高了生產(chǎn)穩(wěn)定性、安全性。

  

 


  那么,沃飛科技如何推動電子特氣系統(tǒng)的安裝與應(yīng)用呢。通常而言,特氣輸送系統(tǒng)是將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點,其基本流程是:氣源、控制柜、管道傳輸、VMB、用氣點。

  

 

  除了選擇合適的特氣系統(tǒng)之外,還需要打造一個良好的特氣輸送環(huán)境。特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設(shè),其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等,而且需要有良好的通風(fēng)條件??筛鶕?jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間等。其中,低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。



  選擇好特氣房,便是管道系統(tǒng)的設(shè)計。在設(shè)計之前,首先要選好材料,特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。此次是主管路系統(tǒng),在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短,拐彎最少的原則,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機臺用氣點的多少和流量大小確定。同時管道的設(shè)計要采用零死區(qū)設(shè)計,即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點,要點對點,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。最后,管道還要有良好的接地??傮w而言,管道系統(tǒng)的設(shè)計需充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng),合理選擇管徑和材料,是我們設(shè)計的重點,這樣可顯著降低整個系統(tǒng)的成本。


  特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接,同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序,對施工的質(zhì)量和程序進行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。最后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現(xiàn)場基本的施工程序為:施工圖紙會審、施工組織編寫、預(yù)制間的搭設(shè)、施工機具的準(zhǔn)備、施工人員的培訓(xùn)、預(yù)制圖紙的編寫、管道的預(yù)制、管道的現(xiàn)場安裝、系統(tǒng)檢測和系統(tǒng)驗收等環(huán)節(jié)。


  作為專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程的高新技術(shù)企業(yè),沃飛科技目前已掌握自主研發(fā)的特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)核心技術(shù),在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、管道工程等特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自主研發(fā)的核心技術(shù),致力于為先進制造企業(yè)及研發(fā)機構(gòu)提供高純工藝系統(tǒng)解決方案,業(yè)務(wù)涵蓋了整個系統(tǒng)方案設(shè)計、材料和設(shè)備供應(yīng)、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù),全力賦能電子特氣行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。